MOCVD设备石墨基座

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产品特点 涂层厚度均匀,极差<10um 涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长 》加工精度高,公差<3um,pocket一致性好》具有良好的STD(<1.5%)、PD、波长稳定性
应用领域 ED芯片
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