GaN外延设备石墨部件

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产品特点 涂层厚度均匀,极差<10um,金属杂质含量<2ppm,涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长,行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2°C
应用领域 aN功率器件
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