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SiC外延设备石墨部件

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产品特点 涂层厚度均匀，极差<10um，金属杂质含量<2ppm 本征浓度<2E+14，涂层致密，无针孔，耐刻蚀，寿命长外延产品缺陷少、电阻和浓度均匀性好
应用领域 SiC功率器件
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